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2003年     
    7月  離子源系統(tǒng)獲得了丹東市高新技術(shù)產(chǎn)品
    12月  順利的通過ISO9001：2000質(zhì)量管理體系認(rèn)證

2004年    
    2月  離子源系列產(chǎn)品獲得了高新技術(shù)產(chǎn)品證書
    7月  NV6200離子源系統(tǒng)被立項(xiàng)為科技型中小企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新基金的重點(diǎn)項(xiàng)目
    10月  被授為丹東市民營(yíng)科技企業(yè)

2005年    
    3月  離子源系列產(chǎn)品入選中國(guó)500******新產(chǎn)品
    4月  離子源系列產(chǎn)品通過了遼寧省新產(chǎn)品鑒定
    5月  NV6200離子源系統(tǒng)獲得國(guó)家火炬計(jì)劃項(xiàng)目證書
    5月  離子源系統(tǒng)通過了遼寧省科技成果鑒定
    8月  獲得省創(chuàng)信資金的扶持
    10月  被評(píng)為丹東市高新技術(shù)企業(yè)

2006年    
    1月  GSD系列產(chǎn)品獲得丹東市高新技術(shù)產(chǎn)品稱號(hào)
    4月  離子源系列產(chǎn)品列為國(guó)家重點(diǎn)新產(chǎn)品
    4月  NV6200離子源系統(tǒng)獲得丹東市科學(xué)技術(shù)進(jìn)步二等獎(jiǎng)
    9月  9500系列產(chǎn)品獲得丹東市高新技術(shù)產(chǎn)品稱號(hào)
    12月  獲得遼寧省科學(xué)技術(shù)進(jìn)步三等獎(jiǎng)
    12月  NV-6200離子源系統(tǒng)創(chuàng)信基金項(xiàng)目通過國(guó)家驗(yàn)收

2007年     
    1月  獲得丹東市優(yōu)秀民營(yíng)高新技術(shù)企業(yè)
    4月  順利通過ISO9001：2000質(zhì)量管理體系認(rèn)證
    7月  被評(píng)為遼寧省高新技術(shù)企業(yè)
    7月  NV-6200 離子源系統(tǒng)獲遼寧省科技成果轉(zhuǎn)化項(xiàng)目認(rèn)定
    12月  GSD系列產(chǎn)品被評(píng)為遼寧省優(yōu)秀新產(chǎn)品

2008年    
    7月  獲遼寧省中小企業(yè)廳專精特新產(chǎn)品金獎(jiǎng)
    11月  GSD離子源產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目獲科技部國(guó)家火炬計(jì)劃項(xiàng)目立項(xiàng)

2010年    
    9月  微波等離子體離子源系統(tǒng)獲遼寧省科技型中小企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新資金立項(xiàng)

2014年    
    1月　通過ISO9001:2008質(zhì)量管理體系認(rèn)證

2015年    
    1月　成為中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)會(huì)員